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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6804864	ＭＲＡＭスタックをパターニングする乾式プラズマ・エッチング法	2020年12月23日
特許 6804920	原子層堆積のための動的前駆体注入	2020年12月23日
特許 6799902	多孔バッフルを備えた低容積シャワーヘッド	2020年12月16日
特許 6799903	基板上にタングステンを堆積する方法およびその装置	2020年12月16日
特許 6798892	プラズマチャンバのための変圧器結合容量性同調回路およびシステム	2020年12月 9日
特許 6794124	消耗品のためのセンサおよびアジャスタ	2020年12月 2日
特許 6794138	電解液供給生成装置	2020年12月 2日
特許 6789614	不揮発性金属材料をエッチングする方法	2020年11月25日
特許 6789627	膜均一性改善のためのハードウェアおよび処理	2020年11月25日
特許 6789932	調整可能ガスフロー制御のためのガス分離器を含むガス供給配送配置	2020年11月25日
特許 6783521	半導体ウエハ処理中におけるエッジ処理制御のための可動式エッジ連結リング	2020年11月11日
特許 6758808	プラズマ援用原子層堆積におけるＲＦ補償のための方法及び装置	2020年 9月23日
特許 6758818	エネルギー吸収体ガスへの衝突共鳴エネルギー伝達によるプラズマのＶＵＶ放出の調節	2020年 9月23日
特許 6758839	基板処理システムにおいてハードマスクとして使用する非晶質炭素およびシリコン膜の金属ドーピング	2020年 9月23日
特許 6752555	二次パージ対応ＡＬＤシステムにおけるシャワーヘッド裏側の寄生プラズマを抑制するための方法及び装置	2020年 9月 9日

36 件中 1-15 件を表示

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6804864 6804920 6799902 6799903 6798892 6794124 6794138 6789614 6789627 6789932 6783521 6758808 6758818 6758839 6752555

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