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ラム リサーチ コーポレーション
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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第341位 108件
（
2020年：第499位 66件）
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第407位 63件
（2020年：第614位 36件）
（ランキング更新日：2025年12月12日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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ラム リサーチ コーポレーションの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6981781 | 複数のプラズマ処理ステーションにわたってインピーダンスまたは電力を調整するための結合器／分配器 | 2021年12月17日 | |
| 特許 6976138 | ＲＦ供給のためのファラデーケージを埋め込まれたセラミック製静電チャックと、操作、監視、及び制御のための関連の方法 | 2021年12月 8日 | |
| 特許 6976686 | エッジリング特性評価を実行するためのシステムおよび方法 | 2021年12月 8日 | |
| 特許 6976043 | 原子層堆積中における化学物質の制御された分離および送出により低欠陥処理を可能にするシステムおよび方法 | 2021年12月 1日 | |
| 特許 6971539 | フッ素含有量が少ないタングステン膜 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6964964 | チェンバ内で基板を処理する方法およびその装置 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6960226 | 直流パルス式プラズマシステム | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6960763 | 異なるヒータ配線材料を有する積層ヒータ | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6954971 | フェースプレート | 2021年10月27日 | |
| 特許 6952446 | 縁部プレナムシャワーヘッドアセンブリを含む堆積装置 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6947510 | プラズマ源のチャンバ部材、および、基板Ｃ−リングの平行移動のために半径方向外側に配置されたリフトピンを備えるペデスタル | 2021年10月13日 | |
| 特許 6948767 | 多層セラミック製造技術を使用した発光阻止 | 2021年10月13日 | |
| 特許 6948797 | 不揮発性金属をパターニングするためのチャンバ | 2021年10月13日 | |
| 特許 6948802 | 計算モデルを生成する方法およびそのプログラム | 2021年10月13日 | |
| 特許 6945269 | マルチトレイバラスト蒸気引き込みシステム | 2021年10月 6日 |
64 件中 1-15 件を表示
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6981781 6976138 6976686 6976043 6971539 6964964 6960226 6960763 6954971 6952446 6947510 6948767 6948797 6948802 6945269
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