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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6981781	複数のプラズマ処理ステーションにわたってインピーダンスまたは電力を調整するための結合器／分配器	2021年12月17日
特許 6976138	ＲＦ供給のためのファラデーケージを埋め込まれたセラミック製静電チャックと、操作、監視、及び制御のための関連の方法	2021年12月 8日
特許 6976686	エッジリング特性評価を実行するためのシステムおよび方法	2021年12月 8日
特許 6976043	原子層堆積中における化学物質の制御された分離および送出により低欠陥処理を可能にするシステムおよび方法	2021年12月 1日
特許 6971539	フッ素含有量が少ないタングステン膜	2021年11月24日
特許 6964964	チェンバ内で基板を処理する方法およびその装置	2021年11月10日
特許 6960226	直流パルス式プラズマシステム	2021年11月 5日
特許 6960763	異なるヒータ配線材料を有する積層ヒータ	2021年11月 5日
特許 6954971	フェースプレート	2021年10月27日
特許 6952446	縁部プレナムシャワーヘッドアセンブリを含む堆積装置	2021年10月20日
特許 6947510	プラズマ源のチャンバ部材、および、基板Ｃ−リングの平行移動のために半径方向外側に配置されたリフトピンを備えるペデスタル	2021年10月13日
特許 6948767	多層セラミック製造技術を使用した発光阻止	2021年10月13日
特許 6948797	不揮発性金属をパターニングするためのチャンバ	2021年10月13日
特許 6948802	計算モデルを生成する方法およびそのプログラム	2021年10月13日
特許 6945269	マルチトレイバラスト蒸気引き込みシステム	2021年10月 6日

64 件中 1-15 件を表示

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6981781 6976138 6976686 6976043 6971539 6964964 6960226 6960763 6954971 6952446 6947510 6948767 6948797 6948802 6945269

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