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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7195810	イオンの方向性を増大させるためのマルチレジームプラズマウエハ処理	2022年12月26日
特許 7194713	二次パージ対応ＡＬＤシステムにおけるシャワーヘッド裏側の寄生プラズマを抑制するための方法及び装置	2022年12月22日
特許 7194724	電気メッキ中のフロー分離およびフォーカシングのための方法および装置	2022年12月22日
特許 7194171	プラズマ処理および／または熱処理を使用して、酸化ハフニウムに基づく強誘電体材料の性能を向上させるための方法	2022年12月21日
特許 7191832	熱制御素子を用いるＥＳＣ温度推定のための仮想測定方法	2022年12月19日
特許 7190814	エアギャップの形成方法	2022年12月16日
特許 7189719	プロセスパラメータを決定するための方法及び装置	2022年12月14日
特許 7189375	フォトレジスト接着および線量低減のための下層	2022年12月13日
特許 7186494	粒子性能および金属性能の改善のためのＥＳＣセラミック側壁の加工	2022年12月 9日
特許 7182367	遠隔プラズマ膜堆積におけるウエハレベル均一性制御	2022年12月 2日
特許 7182565	エッジ配置誤差予測を用いた設計レイアウトパターン近接効果補正	2022年12月 2日
特許 7181337	流れ均一性を改善させるためのフェースプレート穴を有する低容積シャワーヘッド	2022年11月30日
特許 7177200	エッジに限局されたイオン軌道制御及びプラズマ動作を通じた、最端エッジにおけるシース及びウエハのプロフィール調整	2022年11月22日
特許 7175967	一体型サーマルチョークによる高温ＲＦ接続	2022年11月21日
特許 7171165	膜プロフィール調整のためのシャワーヘッドカーテンガス方法及びシャワーヘッドガスカーテンシステム	2022年11月15日

53 件中 1-15 件を表示

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7195810 7194713 7194724 7194171 7191832 7190814 7189719 7189375 7186494 7182367 7182565 7181337 7177200 7175967 7171165

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