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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6441434	デュアルチャンバ構成のパルスプラズマチャンバ	2018年12月19日
特許 6433161	フィールド対フィーチャのコントラストを用いたＴＳＶ浴評価	2018年12月 5日
特許 6427316	ウェハ基板上に金属を堆積するための電気めっき装置およびウェハ基板上に電気めっきする方法	2018年11月21日
特許 6420528	状態に基づいた電力および周波数の調整	2018年11月 7日
特許 6412902	プラズマシステム	2018年10月24日
特許 6407523	完全浸漬された無空気の帰還流量制御弁を用いた気泡および発泡解消方法	2018年10月17日
特許 6404580	電力制御モードのためのチャンバマッチング	2018年10月10日
特許 6404569	プラズマインピーダンスに関連するパラメータのチューニング	2018年10月10日
特許 6400272	インピーダンスに基づいた電力および周波数の調整	2018年10月 3日
特許 6388773	めっき用の金属シード層を有する基板を準備してメッキする方法	2018年 9月12日
特許 6385397	プラズマ処理チャンバの下側電極アセンブリ	2018年 9月 5日
特許 6382719	デュアルチャンバ構成のパルスプラズマチャンバ	2018年 8月29日
特許 6364244	温度制御された基板支持アセンブリ	2018年 7月25日
特許 6351669	加熱プレートおよびシステム	2018年 7月 4日
特許 6349257	ハイブリッドパルス化プラズマ処理システム	2018年 6月27日

36 件中 1-15 件を表示

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6441434 6433161 6427316 6420528 6412902 6407523 6404580 6404569 6400272 6388773 6385397 6382719 6364244 6351669 6349257

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