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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6247683	多重化された加熱アレイのための電流ピーク分散スキーム	2017年12月13日
特許 6219558	３Ｄフラッシュ構造用のエッチングプロセス	2017年10月25日
特許 6215217	誘導結合プラズマチャンバのツイストロック式ガス注入器用の窓及び装着構造	2017年10月18日
特許 6211584	プラズマ処理システムにおける共有ガスパネル	2017年10月11日
特許 6205460	基板支持体、静電チャック、基板支持体の各熱領域を作成する方法、及び基板支持体の層を製造する方法	2017年 9月27日
特許 6204940	一体化閉じ込めリング装置およびその方法	2017年 9月27日
特許 6203716	不活性ガスから生成される準安定ガスを使用する原子層エッチング	2017年 9月27日
特許 6196697	プラズマ処理装置のための可動チャンバライナ・プラズマ閉じ込めスクリーン複合体	2017年 9月13日
特許 6173313	ウエハ背面のプラズマ支援デチャックを備えた静電チャック	2017年 8月 2日
特許 6154388	下方電極アセンブリ、そのためのエッジシール、下方電極アセンブリの作成方法、及び、プラズマエッチングチャンバ	2017年 6月28日
特許 6149071	基板をデチャックする方法	2017年 6月14日
特許 6144263	半導体処理のための平面熱ゾーンを伴う熱板	2017年 6月 7日
特許 6140927	成分送給機構、プラズマリアクタ、及び、半導体基板を処理する方法	2017年 6月 7日
特許 6133882	基板クランプシステム及び該システムを動作させるための方法	2017年 5月24日
特許 6133335	半導体処理用の交流駆動を用いる多重ヒータアレイ	2017年 5月24日

24 件中 1-15 件を表示

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6247683 6219558 6215217 6211584 6205460 6204940 6203716 6196697 6173313 6154388 6149071 6144263 6140927 6133882 6133335

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