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ラム リサーチ コーポレーション

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  2016年 出願公開件数ランキング    第478位 71件 上昇2015年:第539位 62件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第563位 46件 下降2015年:第376位 69件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6046623 静電デチャックを行う装置及び方法、並びに、半導体ウェハを処理するチャンバ 2016年12月21日
特許 6046628 プラズマ発生装置 2016年12月21日
特許 6049453 基板をデチャックする方法及びガス圧式リフト機構 2016年12月21日
特許 6045574 プラズマチャンバのための通電グリッド 2016年12月14日
特許 6038975 半導体基板を処理する方法 2016年12月 7日
特許 6021809 マルチゾーンプラズマ源、プラズマ生成方法、プラズマ処理システム 2016年11月 9日
特許 6019023 プラズマ源、プラズマ生成方法、プラズマ処理システム 2016年11月 2日
特許 6019088 電源供給を局所化する分散型電源装置 2016年11月 2日
特許 6005624 基板に対する粒子汚染を削減するためのシステム 2016年10月12日
特許 6001641 半導体処理のための電子ビーム強化式分離型プラズマ源 2016年10月 5日
特許 5996760 加熱プレートおよび基板支持体 2016年 9月21日
特許 5989644 プラズマ源、プラズマを生成する方法、プラズマ処理システム、および、プラズマシステム 2016年 9月 7日
特許 5986503 固定用インサート、電極アセンブリおよびプラズマ処理チャンバー 2016年 9月 6日
特許 5982092 誘電体層の無電解メッキ用活性化溶液 2016年 8月31日
特許 5982383 ベベル保護膜成膜方法 2016年 8月31日

46 件中 1-15 件を表示

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6046623 6046628 6049453 6045574 6038975 6021809 6019023 6019088 6005624 6001641 5996760 5989644 5986503 5982092 5982383

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