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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6049453	基板をデチャックする方法及びガス圧式リフト機構	2016年12月21日
特許 6046628	プラズマ発生装置	2016年12月21日
特許 6046623	静電デチャックを行う装置及び方法、並びに、半導体ウェハを処理するチャンバ	2016年12月21日
特許 6045574	プラズマチャンバのための通電グリッド	2016年12月14日
特許 6038975	半導体基板を処理する方法	2016年12月 7日
特許 6021809	マルチゾーンプラズマ源、プラズマ生成方法、プラズマ処理システム	2016年11月 9日
特許 6019088	電源供給を局所化する分散型電源装置	2016年11月 2日
特許 6019023	プラズマ源、プラズマ生成方法、プラズマ処理システム	2016年11月 2日
特許 6005624	基板に対する粒子汚染を削減するためのシステム	2016年10月12日
特許 6001641	半導体処理のための電子ビーム強化式分離型プラズマ源	2016年10月 5日
特許 5996760	加熱プレートおよび基板支持体	2016年 9月21日
特許 5989644	プラズマ源、プラズマを生成する方法、プラズマ処理システム、および、プラズマシステム	2016年 9月 7日
特許 5986503	固定用インサート、電極アセンブリおよびプラズマ処理チャンバー	2016年 9月 6日
特許 5982383	ベベル保護膜成膜方法	2016年 8月31日
特許 5982092	誘電体層の無電解メッキ用活性化溶液	2016年 8月31日

46 件中 1-15 件を表示

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6049453 6046628 6046623 6045574 6038975 6021809 6019088 6019023 6005624 6001641 5996760 5989644 5986503 5982383 5982092

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