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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7606973	温度を近似させるための静電チャックヒータ抵抗測定	2024年12月26日
特許 7605899	高アスペクト比エッチングのためのプラズマエッチングツール	2024年12月24日
特許 7604088	電気メッキのための幅広リップシール	2024年12月23日
特許 7603719	摩耗補償閉じ込めリング	2024年12月20日
特許 7603668	光干渉法および反射率測定法を使用した半導体機器の自律プロセス制御および最適化のためのシステムおよび方法	2024年12月20日
特許 7603117	プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理	2024年12月19日
特許 7602530	ＭＲＡＭパターニングのための不揮発性材料の化学エッチング	2024年12月18日
特許 7600344	プラズマ加熱された窓のマルチゾーン冷却	2024年12月16日
特許 7597788	基板処理システムのためのエッジリングシステム	2024年12月10日
特許 7595598	ＲＦ電力損失を補償するためのシステムおよび方法	2024年12月 6日
特許 7595015	一体型ツール昇降機	2024年12月 5日
特許 7595009	原子層堆積または化学蒸着のための方法および装置	2024年12月 5日
特許 7594628	追加の回転軸を有する回転インデクサ	2024年12月 4日
特許 7593992	基板処理システムにおける不均一性のＩＮＳＩＴＵリアルタイム感知および補償	2024年12月 3日
特許 7592144	改善されたチャンバ整合のためのハイブリッド流量計測	2024年11月29日

154 件中 1-15 件を表示

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7606973 7605899 7604088 7603719 7603668 7603117 7602530 7600344 7597788 7595598 7595015 7595009 7594628 7593992 7592144

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