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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第72位 424件
(2022年:第81位 382件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第91位 347件
(2022年:第86位 347件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7300817 | 基板処理装置および基板処理装置の制御方法 | 2023年 6月30日 | |
特許 7300272 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2023年 6月29日 | |
特許 7300365 | 熱処理装置 | 2023年 6月29日 | |
特許 7299833 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2023年 6月28日 | |
特許 7299048 | 色予測方法および色予測プログラム | 2023年 6月27日 | |
特許 7297558 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2023年 6月26日 | |
特許 7297650 | 基板処理装置および基板搬送方法 | 2023年 6月26日 | |
特許 7296309 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2023年 6月22日 | |
特許 7295754 | 露光装置 | 2023年 6月21日 | |
特許 7295755 | 基板処理装置 | 2023年 6月21日 | |
特許 7294802 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2023年 6月20日 | |
特許 7294818 | 基板検査装置、基板処理装置、基板検査方法および基板処理方法 | 2023年 6月20日 | |
特許 7294858 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2023年 6月20日 | |
特許 7294999 | エッチング方法 | 2023年 6月20日 | |
特許 7292192 | 基板処理方法、基板処理装置、およびレシピ選択方法 | 2023年 6月16日 |
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7300817 7300272 7300365 7299833 7299048 7297558 7297650 7296309 7295754 7295755 7294802 7294818 7294858 7294999 7292192
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