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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第2007位 11件 (2020年:第2497位 8件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第2482位 6件 (2020年:第2418位 6件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6932637 | 反復式の欠陥フィルタリングプロセス | 2021年 9月 8日 | |
特許 6932855 | マルチビーム荷電粒子カラムとその使用、組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットおよび、サンプルの表面を検査又は撮像するための方法 | 2021年 9月 8日 | |
特許 6929330 | 多層構造体の層間のオーバレイを測定する技法 | 2021年 9月 1日 | |
特許 6924324 | 基板を移動させる方法およびシステム | 2021年 8月25日 | |
特許 6920370 | 閉ループ自動欠陥検査および分類 | 2021年 8月18日 | |
特許 6908999 | 密封されたチャンバを形成するためのシステムおよび方法 | 2021年 7月28日 | |
特許 6905954 | 自動欠陥分類のための未知欠陥除去の最適化 | 2021年 7月21日 | |
特許 6810804 | 試験片を検査する方法および荷電粒子マルチビーム装置 | 2021年 1月 6日 |
8 件中 1-8 件を表示
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6932637 6932855 6929330 6924324 6920370 6908999 6905954 6810804
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