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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第4198位 4件
(2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第1502位 12件
(2014年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5820308 | 静電チャック及びウェーハを支持する方法。 | 2015年11月24日 | |
特許 5815601 | 高スループットSEMツール | 2015年11月17日 | |
特許 5808723 | 支持チャックにEUVLマスクを電気的に結合するための導電性要素 | 2015年11月10日 | |
特許 5800264 | 光検出装置及び光電子増倍管にバイアスをかける方法 | 2015年10月28日 | |
特許 5793155 | 走査電子顕微鏡画像を用いた3次元マッピング | 2015年10月14日 | |
特許 5752878 | 1次元の線に沿って行われるスキャニングによって表面を像形性する方法及び装置 | 2015年 7月22日 | |
特許 5745573 | 製造ツールのレシピを生成する方法及びそのシステム | 2015年 7月 8日 | |
特許 5722719 | 高電子エネルギベースのオーバーレイ誤差測定方法及びシステム | 2015年 5月27日 | |
特許 5715610 | パターン化サンプルを検査するための光学システム及び方法 | 2015年 5月 7日 | |
特許 5709686 | 磁気ノイズを補償するためのシステム及び方法 | 2015年 4月30日 | |
特許 5710061 | 高スループットSEMツール | 2015年 4月30日 | |
特許 5702045 | 斜めのビュー角度をもつ検査システム | 2015年 4月15日 |
12 件中 1-12 件を表示
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5820308 5815601 5808723 5800264 5793155 5752878 5745573 5722719 5715610 5709686 5710061 5702045
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4月15日(火) -
4月15日(火) - 大阪 大阪市
4月15日(火) -
4月16日(水) - 東京 大田
4月16日(水) -
4月16日(水) -
4月16日(水) -
4月16日(水) -
4月17日(木) - 東京 大田
4月17日(木) -
4月17日(木) -
4月18日(金) -
4月18日(金) -
4月18日(金) - 東京 千代田区
4月15日(火) -
4月21日(月) -
4月22日(火) -
4月22日(火) -
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月23日(水) - 東京 千代田区
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月24日(木) - 東京 港区
4月24日(木) -
4月24日(木) -
4月25日(金) -
4月21日(月) -
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