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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第1174位 22件
(2010年:第1188位 25件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第1052位 25件
(2010年:第1012位 22件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4677632 | ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法 | 2011年 4月27日 | |
特許 4677628 | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法並びにパターン基板の製造方法 | 2011年 4月27日 | |
特許 4674365 | 加工装置、加工方法、欠陥修正装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法。 | 2011年 4月20日 | |
特許 4674382 | 検査装置及び欠陥検査方法 | 2011年 4月20日 | |
特許 4654408 | 検査装置、検査方法及びパターン基板の製造方法 | 2011年 3月23日 | |
特許 4654424 | 光源装置 | 2011年 3月23日 | |
特許 4654349 | 位相シフトマスクの欠陥検査装置 | 2011年 3月16日 | |
特許 4654375 | 欠陥修正装置及び欠陥修正方法 | 2011年 3月16日 | |
特許 4635145 | コンフォーカル顕微鏡及び膜厚測定装置 | 2011年 2月16日 | |
特許 4608638 | ペリクル装着装置、ペリクル装着方法及びパターン基板の製造方法 | 2011年 1月12日 |
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4677632 4677628 4674365 4674382 4654408 4654424 4654349 4654375 4635145 4608638
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10月15日(水) - 東京 港区
10月15日(水) -
10月15日(水) -
10月16日(木) - 大阪 大阪市
10月16日(木) -
10月16日(木) -
10月16日(木) - 東京 新宿区
10月16日(木) -
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10月17日(金) - 神奈川 川崎市
10月17日(金) -
10月15日(水) - 東京 港区
10月20日(月) -
10月21日(火) -
10月21日(火) - 東京 港区
10月21日(火) - 東京 港区
10月21日(火) -
10月21日(火) - 大阪 大阪市
10月21日(火) -
10月22日(水) - 東京 港区
10月22日(水) - 東京 品川
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10月22日(水) - 栃木 宇都宮市
10月23日(木) - 東京 港区
10月23日(木) -
10月24日(金) -
10月24日(金) -
10月24日(金) -
10月24日(金) - 東京 千代田区
10月24日(金) -
10月24日(金) -
10月24日(金) -
10月20日(月) -
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