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レーザーテック株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第1174位 22件 上昇2010年:第1188位 25件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第1052位 25件 下降2010年:第1012位 22件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4677632 ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法 2011年 4月27日
特許 4677628 欠陥検出装置及び欠陥検出方法並びにパターン基板の製造方法 2011年 4月27日
特許 4674365 加工装置、加工方法、欠陥修正装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法。 2011年 4月20日
特許 4674382 検査装置及び欠陥検査方法 2011年 4月20日
特許 4654408 検査装置、検査方法及びパターン基板の製造方法 2011年 3月23日
特許 4654424 光源装置 2011年 3月23日
特許 4654349 位相シフトマスクの欠陥検査装置 2011年 3月16日
特許 4654375 欠陥修正装置及び欠陥修正方法 2011年 3月16日
特許 4635145 コンフォーカル顕微鏡及び膜厚測定装置 2011年 2月16日
特許 4608638 ペリクル装着装置、ペリクル装着方法及びパターン基板の製造方法 2011年 1月12日

25 件中 16-25 件を表示

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4677632 4677628 4674365 4674382 4654408 4654424 4654349 4654375 4635145 4608638

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