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レーザーテック株式会社

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  2012年 特許取得件数ランキング    第1367位 19件 下降2011年:第1052位 25件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5070616 プラズマシールド装置及びプラズマ光源装置 2012年11月14日
特許 5046054 欠陥検査装置、欠陥検査方法、光学式走査装置、半導体デバイス製造方法 2012年10月10日
特許 5045991 異物除去装置、異物除去方法、及び撮像素子装置の製造方法 2012年10月10日
特許 5024842 検査装置、及び検査方法 2012年 9月12日
特許 5024864 コンフォーカル顕微鏡、及びコンフォーカル画像の撮像方法 2012年 9月12日
特許 5008012 検査装置、及び検査方法 2012年 8月22日
特許 4997406 形状測定装置並びに深さ測定装置及び膜厚測定装置 2012年 8月 8日
特許 4961615 フォトマスクの検査方法及び装置 2012年 6月27日
特許 4961541 欠陥修正方法及び装置 2012年 6月27日
特許 4953192 位置検出装置 2012年 6月13日
特許 4953187 パターン基板の欠陥修正装置及び欠陥修正方法並びにパターン基板製造方法 2012年 6月13日
特許 4941710 形状測定装置及び共焦点顕微鏡 2012年 5月30日
特許 4931124 欠陥修正装置、欠陥修正方法、及びパターン基板製造方法 2012年 5月16日
特許 4919307 基板検査装置及びマスク検査装置 2012年 4月18日
特許 4895351 顕微鏡及び観察方法 2012年 3月14日

19 件中 1-15 件を表示

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5070616 5046054 5045991 5024842 5024864 5008012 4997406 4961615 4961541 4953192 4953187 4941710 4931124 4919307 4895351

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