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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第1466位 17件 (2011年:第1174位 22件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5070616 | プラズマシールド装置及びプラズマ光源装置 | 2012年11月14日 | |
特許 5046054 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、光学式走査装置、半導体デバイス製造方法 | 2012年10月10日 | |
特許 5045991 | 異物除去装置、異物除去方法、及び撮像素子装置の製造方法 | 2012年10月10日 | |
特許 5024842 | 検査装置、及び検査方法 | 2012年 9月12日 | |
特許 5024864 | コンフォーカル顕微鏡、及びコンフォーカル画像の撮像方法 | 2012年 9月12日 | |
特許 5008012 | 検査装置、及び検査方法 | 2012年 8月22日 | |
特許 4997406 | 形状測定装置並びに深さ測定装置及び膜厚測定装置 | 2012年 8月 8日 | |
特許 4961615 | フォトマスクの検査方法及び装置 | 2012年 6月27日 | |
特許 4961541 | 欠陥修正方法及び装置 | 2012年 6月27日 | |
特許 4953192 | 位置検出装置 | 2012年 6月13日 | |
特許 4953187 | パターン基板の欠陥修正装置及び欠陥修正方法並びにパターン基板製造方法 | 2012年 6月13日 | |
特許 4941710 | 形状測定装置及び共焦点顕微鏡 | 2012年 5月30日 | |
特許 4931124 | 欠陥修正装置、欠陥修正方法、及びパターン基板製造方法 | 2012年 5月16日 | |
特許 4919307 | 基板検査装置及びマスク検査装置 | 2012年 4月18日 | |
特許 4895351 | 顕微鏡及び観察方法 | 2012年 3月14日 |
19 件中 1-15 件を表示
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5070616 5046054 5045991 5024842 5024864 5008012 4997406 4961615 4961541 4953192 4953187 4941710 4931124 4919307 4895351
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