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レーザーテック株式会社

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  2014年 特許取得件数ランキング    第1176位 23件 下降2013年:第1098位 25件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5633099 欠陥分類方法及び検査装置 2014年12月 3日
特許 5633836 照明装置、及び検査装置 2014年12月 3日
特許 5622203 太陽電池セルの測定装置、及び測定方法 2014年11月12日
特許 5614759 検査装置 2014年10月29日
特許 5610380 ペリクル装着装置、ペリクル装着方法、及びパターン基板の製造方法 2014年10月22日
特許 5557228 検査分析装置 2014年 7月23日
特許 5557298 観察用セル及びリチウムイオン電池観察システム 2014年 7月23日 共同出願
特許 5548848 検査装置、検査方法、及び半導体装置の製造方法 2014年 7月16日
特許 5544663 EUVマスク検査装置、EUVマスク検査方法 2014年 7月 9日
特許 5526370 照明光学系、照明方法、及び検査装置 2014年 6月18日
特許 5517179 検査方法及び検査装置 2014年 6月11日
特許 5481755 反り測定装置、及び反り測定方法 2014年 4月23日
特許 5477976 厚さ測定装置 2014年 4月23日
特許 5481750 太陽電池の評価装置、評価方法、及び製造方法 2014年 4月23日
特許 5470542 太陽電池評価方法及び太陽電池評価システム 2014年 4月16日

23 件中 1-15 件を表示

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5633099 5633836 5622203 5614759 5610380 5557228 5557298 5548848 5544663 5526370 5517179 5481755 5477976 5481750 5470542

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