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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第1925位 11件
(2017年:第1299位 22件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第2781位 5件
(2017年:第1630位 11件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6440152 | 検査装置及び検査方法 | 2018年12月19日 | |
特許 6371022 | 照明方法、検査方法、照明装置及び検査装置 | 2018年 8月 8日 | |
特許 6278427 | 光学装置、及び除振方法 | 2018年 2月14日 | |
特許 6270277 | 撮像素子、検査装置、及び検査方法 | 2018年 1月31日 | |
特許 6270288 | 検査装置、検査方法、汚染防止構造及び露光装置 | 2018年 1月31日 |
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6440152 6371022 6278427 6270277 6270288
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