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■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1732位 11件 (2022年:第1763位 11件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7405685 | 検査装置 | 2023年12月26日 | |
特許 7365266 | 測定装置及び測定方法 | 2023年10月19日 | |
特許 7351758 | 検査装置 | 2023年 9月27日 | |
特許 7329371 | 照明方法及び照明装置の製造方法 | 2023年 8月18日 | |
特許 7296296 | 検査装置及び検査方法 | 2023年 6月22日 | |
特許 7281987 | 光源、検査装置、EUV光の生成方法及び検査方法 | 2023年 5月26日 | |
特許 7231474 | 照明装置及び検査装置 | 2023年 3月 1日 | |
特許 7227776 | マスク検査装置及びフォーカス調整方法 | 2023年 2月22日 | |
特許 7202959 | 検査装置及び検査方法 | 2023年 1月12日 | |
特許 7201631 | 輝度補正装置、検査装置、輝度補正方法、及び輝度補正プログラム | 2023年 1月10日 | |
特許 7198731 | 撮像装置、及びフォーカス調整方法 | 2023年 1月 4日 |
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7405685 7365266 7351758 7329371 7296296 7281987 7231474 7227776 7202959 7201631 7198731
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