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レーザーテック株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第2343位 9件 下降2022年:第1746位 13件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第1732位 11件 上昇2022年:第1763位 11件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7405685 検査装置 2023年12月26日
特許 7365266 測定装置及び測定方法 2023年10月19日
特許 7351758 検査装置 2023年 9月27日
特許 7329371 照明方法及び照明装置の製造方法 2023年 8月18日
特許 7296296 検査装置及び検査方法 2023年 6月22日
特許 7281987 光源、検査装置、EUV光の生成方法及び検査方法 2023年 5月26日
特許 7231474 照明装置及び検査装置 2023年 3月 1日
特許 7227776 マスク検査装置及びフォーカス調整方法 2023年 2月22日
特許 7202959 検査装置及び検査方法 2023年 1月12日
特許 7201631 輝度補正装置、検査装置、輝度補正方法、及び輝度補正プログラム 2023年 1月10日
特許 7198731 撮像装置、及びフォーカス調整方法 2023年 1月 4日

11 件中 1-11 件を表示

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7405685 7365266 7351758 7329371 7296296 7281987 7231474 7227776 7202959 7201631 7198731

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