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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第272位 151件 (2018年:第314位 124件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2019-533183 | 極端紫外光源におけるターゲットの移動特性の決定 | 2019年11月14日 | |
特表 2019-533190 | 圧力制御弁、リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造、及びリソグラフィ装置 | 2019年11月14日 | |
特表 2019-533202 | パターニングスタック最適化 | 2019年11月14日 | |
特開 2019-197127 | リソグラフィ装置及び方法 | 2019年11月14日 | |
特表 2019-532324 | 位置決めシステムおよびリソグラフィ装置 | 2019年11月 7日 | |
特表 2019-532328 | 位置センサ、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2019年11月 7日 | |
特表 2019-532336 | 基板、基板ホルダ、基板コーティング装置、基板をコーティングするための方法、及びコーティングを除去するための方法 | 2019年11月 7日 | |
特表 2019-532342 | 基板にわたってパラメータ変動を修正する処理装置及び方法 | 2019年11月 7日 | |
特表 2019-532502 | 荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作すること | 2019年11月 7日 | |
特表 2019-531504 | リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造 | 2019年10月31日 | |
特表 2019-531506 | パターニングプロセスに対する補正を決定する方法、デバイス製造方法、リソグラフィ装置のための制御システム、及び、リソグラフィ装置 | 2019年10月31日 | |
特開 2019-191605 | メトロロジ方法、メトロロジ装置、及びデバイス製造装置 | 2019年10月31日 | |
特表 2019-530894 | アライメントシステムの断熱化 | 2019年10月24日 | |
特表 2019-529953 | 検査装置の照明源、検査装置および検査方法 | 2019年10月17日 | |
特表 2019-529969 | 装置マークのインシチュプリンティングを含む計測方法及び対応する装置 | 2019年10月17日 |
157 件中 16-30 件を表示
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2019-533183 2019-533190 2019-533202 2019-197127 2019-532324 2019-532328 2019-532336 2019-532342 2019-532502 2019-531504 2019-531506 2019-191605 2019-530894 2019-529953 2019-529969
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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