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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2019年 出願公開件数ランキング    第272位 151件 上昇2018年:第314位 124件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第255位 108件 上昇2018年:第281位 102件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2019-533183 極端紫外光源におけるターゲットの移動特性の決定 2019年11月14日
特表 2019-533190 圧力制御弁、リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造、及びリソグラフィ装置 2019年11月14日
特表 2019-533202 パターニングスタック最適化 2019年11月14日
特開 2019-197127 リソグラフィ装置及び方法 2019年11月14日
特表 2019-532324 位置決めシステムおよびリソグラフィ装置 2019年11月 7日
特表 2019-532328 位置センサ、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2019年11月 7日
特表 2019-532336 基板、基板ホルダ、基板コーティング装置、基板をコーティングするための方法、及びコーティングを除去するための方法 2019年11月 7日
特表 2019-532342 基板にわたってパラメータ変動を修正する処理装置及び方法 2019年11月 7日
特表 2019-532502 荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作すること 2019年11月 7日
特表 2019-531504 リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造 2019年10月31日
特表 2019-531506 パターニングプロセスに対する補正を決定する方法、デバイス製造方法、リソグラフィ装置のための制御システム、及び、リソグラフィ装置 2019年10月31日
特開 2019-191605 メトロロジ方法、メトロロジ装置、及びデバイス製造装置 2019年10月31日
特表 2019-530894 アライメントシステムの断熱化 2019年10月24日
特表 2019-529953 検査装置の照明源、検査装置および検査方法 2019年10月17日
特表 2019-529969 装置マークのインシチュプリンティングを含む計測方法及び対応する装置 2019年10月17日

157 件中 16-30 件を表示

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2019-533183 2019-533190 2019-533202 2019-197127 2019-532324 2019-532328 2019-532336 2019-532342 2019-532502 2019-531504 2019-531506 2019-191605 2019-530894 2019-529953 2019-529969

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