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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第272位 151件
(2018年:第314位 124件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第255位 108件
(2018年:第281位 102件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6625568 | 調節システム及び調節システムを備えるリソグラフィ装置 | 2019年12月25日 | |
特許 6626208 | リソグラフィ装置の焦点性能を測定するための方法、パターニングデバイス、計測装置、リソグラフィシステム、コンピュータプログラムおよびデバイス製造方法 | 2019年12月25日 | |
特許 6622390 | アライメントセンサおよび位置測定を提供する方法 | 2019年12月18日 | |
特許 6622409 | リソグラフィ装置、リソグラフィアライメント方法およびデータ処理システム | 2019年12月18日 | |
特許 6617199 | 振動絶縁システム及びリソグラフィ装置 | 2019年12月11日 | |
特許 6618551 | 検査装置、検査方法、リソグラフィ装置、パターニングデバイス及び製造方法 | 2019年12月11日 | |
特許 6618921 | 位置決めシステム、物体振動補償方法、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2019年12月11日 | |
特許 6620208 | 露光装置 | 2019年12月11日 | |
特許 6616416 | 計測方法、コンピュータ製品およびシステム | 2019年12月 4日 | |
特許 6612478 | 流体ハンドリング構造、液浸リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | 2019年11月27日 | |
特許 6613271 | 放射源及びリソグラフィ装置 | 2019年11月27日 | |
特許 6608978 | パターニングデバイス支持体、リソグラフィ装置及びパターニングデバイスの温度制御方法 | 2019年11月20日 | |
特許 6609061 | 複数の光源の波長合成 | 2019年11月20日 | |
特許 6609341 | 基板ホルダ及び基板ホルダ製造方法 | 2019年11月20日 | |
特許 6609694 | 基板ホルダ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造する方法 | 2019年11月20日 |
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6625568 6626208 6622390 6622409 6617199 6618551 6618921 6620208 6616416 6612478 6613271 6608978 6609061 6609341 6609694
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9月12日(金) -
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