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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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　■　2019年特許取得件数ランキング　　　第255位　108件（2018年：第281位　102件）

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2019-516127	照明放射を発生するための方法及び装置	2019年 6月13日
特表 2019-516133	位置測定システム、較正方法、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法	2019年 6月13日
特表 2019-516137	基板支持部、リソグラフィ装置、およびローディング方法	2019年 6月13日
特表 2019-515322	ＥＵＶリソグラフィ用のメンブレン	2019年 6月 6日
特表 2019-515325	スタック差の決定及びスタック差を用いた補正	2019年 6月 6日
特表 2019-515329	極端紫外光源におけるオブジェクト上のプラズマの効果の軽減	2019年 6月 6日
特表 2019-515349	リソグラフィ方法及び装置	2019年 6月 6日
特表 2019-513891	ＥＵＶ光源用のターゲット材料を精製するための方法及び装置	2019年 5月30日
特表 2019-514033	振動絶縁装置、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法	2019年 5月30日
特表 2019-512716	複数の光源の波長合成	2019年 5月16日
特開 2019-74770	リソグラフィ装置およびデバイス製造方法	2019年 5月16日
特表 2019-512110	パターニングプロセスパラメータを決定する方法及び装置	2019年 5月 9日
特開 2019-70839	流体ハンドリング構造、液浸リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法	2019年 5月 9日
特開 2019-70859	データ処理装置を用いたリソグラフィ装置	2019年 5月 9日
特表 2019-511744	パターニングデバイス冷却装置	2019年 4月25日

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2019-516127 2019-516133 2019-516137 2019-515322 2019-515325 2019-515329 2019-515349 2019-513891 2019-514033 2019-512716 2019-74770 2019-512110 2019-70839 2019-70859 2019-511744

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