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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2023年 出願公開件数ランキング    第242位 151件 下降2022年:第222位 169件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第238位 146件 上昇2022年:第259位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2023-523420 EUVリソグラフィのためのペリクルフレーム 2023年 6月 5日
特開 2023-76573 複数の荷電粒子ビームのための装置 2023年 6月 1日
特表 2023-522919 システム、リソグラフィ装置および方法 2023年 6月 1日
特表 2023-522924 光学測定システムおよび光学測定システムのキャリブレーションのための方法 2023年 6月 1日
特開 2023-75123 アライメント方法及び装置 2023年 5月30日
特開 2023-73317 粒子ビーム検査装置 2023年 5月25日
特開 2023-71662 サポートテーブルから物体をアンロードする方法 2023年 5月23日
特表 2023-520629 差動測定システム 2023年 5月18日
特表 2023-520336 複数の検出器を備えた荷電粒子ビーム装置及び撮像方法 2023年 5月17日
特開 2023-65369 荷電粒子ビームを集束させるためのシステム及び方法 2023年 5月12日
特表 2023-519542 アパーチャアセンブリ、ビームマニピュレータユニット、荷電粒子ビームを操作する方法、及び荷電粒子投影装置 2023年 5月11日
特表 2023-519553 荷電粒子ビーム検査における電荷蓄積低減に基づく画像向上 2023年 5月11日
特表 2023-519566 荷電粒子評価ツール、検査方法 2023年 5月11日
特表 2023-519119 オブジェクトホルダ、ツール、及びオブジェクトホルダの製造方法 2023年 5月10日
特開 2023-63390 電磁複合レンズ及びそのようなレンズを備えた荷電粒子光学システム 2023年 5月 9日

157 件中 91-105 件を表示

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2023-523420 2023-76573 2023-522919 2023-522924 2023-75123 2023-73317 2023-71662 2023-520629 2023-520336 2023-65369 2023-519542 2023-519553 2023-519566 2023-519119 2023-63390

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