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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2023年 出願公開件数ランキング    第242位 151件 下降2022年:第222位 169件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第238位 146件 上昇2022年:第259位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-60045 極端紫外光源におけるターゲット軌道計測 2023年 4月27日
特開 2023-58596 プラズマをモニタするためのシステム 2023年 4月25日
特表 2023-516919 荷電粒子システムにおける高スループット欠陥検査のためのシステム及び方法 2023年 4月21日
特表 2023-516921 基板サポート、基板テーブルおよび方法 2023年 4月21日
特表 2023-516975 信号電子検出のためのシステム及び方法 2023年 4月21日
特表 2023-516275 静電レンズ設計 2023年 4月19日
特表 2023-516114 マルチビーム検査システム用のビーム・アレイ・ジオメトリ最適化装置 2023年 4月18日
特表 2023-516132 アパーチャ本体、フラッドコラム、及び荷電粒子ツール 2023年 4月18日
特表 2023-515790 製造プロセスを制御するための方法及び関連装置 2023年 4月14日
特開 2023-52270 顕微鏡検査のための半導体荷電粒子検出器 2023年 4月11日
特開 2023-52695 製品ユニットの製造プロセスのシーケンスの最適化 2023年 4月11日
特表 2023-514498 検査装置 2023年 4月 6日
特表 2023-514091 基板テーブル及び基板の取り扱い方法 2023年 4月 5日
特表 2023-514093 荷電粒子検査ツール、検査方法 2023年 4月 5日
特表 2023-514119 荷電粒子システムにおける流体移送システム 2023年 4月 5日

157 件中 106-120 件を表示

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2023-60045 2023-58596 2023-516919 2023-516921 2023-516975 2023-516275 2023-516114 2023-516132 2023-515790 2023-52270 2023-52695 2023-514498 2023-514091 2023-514093 2023-514119

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