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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7403530	時間依存欠陥検査装置	2023年12月22日
特許 7402808	放射遮蔽デバイス及びそのような遮蔽デバイスを備えた装置	2023年12月21日
特許 7402243	放射測定システム	2023年12月20日
特許 7402350	差動測定システム	2023年12月20日
特許 7401683	吸引クランプ、物体ハンドラ、ステージ装置、およびリソグラフィ装置	2023年12月19日
特許 7400106	低クロストークを有する多重荷電粒子ビーム装置	2023年12月18日
特許 7395466	サンプル検査における画像コントラスト強調	2023年12月11日
特許 7395690	極端紫外光源におけるオブジェクト上のプラズマの効果の軽減	2023年12月11日
特許 7394843	リソグラフィシステムにおいて高精度遅延を提供するための装置及び方法	2023年12月 8日
特許 7393417	高圧接続用装置	2023年12月 6日
特許 7384868	荷電粒子遮断要素、このような要素を備えた露光装置、及びこのような露光装置を使用する方法	2023年11月21日
特許 7383732	放射スポットの中心を決定するための方法、センサ、及びステージ装置	2023年11月20日
特許 7378453	リソグラフィ装置用基板テーブル、および基板の装填方法	2023年11月13日
特許 7377355	較正システム及び較正方法	2023年11月 9日
特許 7376468	放射源	2023年11月 8日

148 件中 1-15 件を表示

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7403530 7402808 7402243 7402350 7401683 7400106 7395466 7395690 7394843 7393417 7384868 7383732 7378453 7377355 7376468

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