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トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス,インコーポレーテッド

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  2018年 出願公開件数ランキング    第33468位 0件 上昇2017年:第34787位 0件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第23370位 0件 上昇2017年:第24017位 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2018-534783 希TMAHを使用してマイクロエレクトロニック基板を処理する方法 2018年11月22日
特表 2018-533039 基板背面テクスチャリング 2018年11月 8日
特表 2018-532271 インターコネクトのための選択的なボトムアップ式金属フィーチャ充填 2018年11月 1日
特表 2018-531506 サブ解像度基板パターニングのためのエッチングマスクを形成する方法 2018年10月25日
特表 2018-530156 サブ解像度基板パターニングのためのエッチングマスクを形成する方法 2018年10月11日
特表 2018-530157 液体二酸化炭素を使用して半導体基板を乾燥させるための方法及び装置 2018年10月11日
特表 2018-530159 湿式エッチング処理の温度の動的制御のための方法及び装置 2018年10月11日
特表 2018-528619 ゲルマニウム含有半導体デバイスおよび形成方法 2018年 9月27日
特表 2018-528621 凹部フィーチャ内での膜のボトムアップ式付着のための方法 2018年 9月27日
特表 2018-527741 インラインディスペンスキャパシタシステム 2018年 9月20日
特表 2018-523924 ダミーゲートを用いないパターニング方法 2018年 8月23日
特表 2018-521845 多孔質材料をコーティングまたは充填する方法 2018年 8月 9日
特表 2018-520511 スピンオン・カーボンの平坦化のための技術 2018年 7月26日
特表 2018-516385 基板を平坦化するためのシステム及び方法 2018年 6月21日
特表 2018-516465 インターコネクトのためのルテニウムメタルによるフィーチャ充填 2018年 6月21日

17 件中 1-15 件を表示

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2018-534783 2018-533039 2018-532271 2018-531506 2018-530156 2018-530157 2018-530159 2018-528619 2018-528621 2018-527741 2018-523924 2018-521845 2018-520511 2018-516385 2018-516465

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