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トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス,インコーポレーテッド

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2026-533792 IRレーザリフトオフプロセスに基づいてシリコンキャリアウェーハを保護して再利用する方法 2026年10月 9日
特表 2026-533791 表面アルキル化を使用した酸化ケイ素に対して窒化ケイ素を選択的にエッチングする方法 2026年10月 9日
特表 2026-533790 モリブデンの湿式原子層エッチングの方法 2026年10月 9日
特表 2026-533339 インサイチュ蛍光ベースのチャンバ及びウェーハの監視 2026年10月 6日
特表 2026-532913 拡張可能なウェハボンダ 2026年10月 2日
特表 2026-532794 下地層のエッチングプロファイルを改善するための方法及び構造 2026年10月 1日
特表 2026-530417 フルオロカーボン処理によるエッチング選択性調整 2026年 9月 8日
特表 2026-530302 DC磁場で変調されたプラズマを用いる基板の処理 2026年 9月 8日
特表 2026-529925 ハイブリッドX線及び光学計測並びにナビゲーション 2026年 9月 3日
特表 2026-529890 プラズマ処理のための方法 2026年 9月 3日
特表 2026-528804 IRレーザリフトオフプロセスのための剥離層 2026年 8月25日
特表 2026-525980 ウェーハ接合システムにおける処理制御のための統合された計測 2026年 8月 4日
特表 2026-525523 プロセスシステム、方法、及び基板チャック 2026年 7月31日
特表 2026-525524 プラズマ処理の方法及び装置 2026年 7月31日
特表 2026-524759 スピンオン自己組織化単分子膜(SAM)の選択性を制御するための方法 2026年 7月24日

36 件中 1-15 件を表示

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