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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第1976位 11件
(
2022年:第1877位 12件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1510位 13件
(
2022年:第2052位 9件)
(ランキング更新日:2026年10月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2023-172015 | 気化器及びこれを備えたイオン源 | 2023年12月 6日 | |
| 特開 2023-154377 | 気化器及びこれを備えたイオン源、アルミニウム含有蒸気の生成方法 | 2023年10月19日 | |
| 特開 2023-132162 | イオン源 | 2023年 9月22日 | |
| 特開 2023-127907 | カソード支持具及びイオン源 | 2023年 9月14日 | |
| 特開 2023-67381 | 基板保持装置 | 2023年 5月16日 | |
| 特開 2023-57607 | ウエハ支持装置、半導体製造装置 | 2023年 4月24日 | |
| 特開 2023-50522 | イオン源移動装置およびイオン注入装置 | 2023年 4月11日 | |
| 特開 2023-42906 | イオン源、イオン注入装置 | 2023年 3月28日 | |
| 特開 2023-37992 | 基板移送装置 | 2023年 3月16日 | |
| 特開 2023-22864 | 半導体装置の製造方法 | 2023年 2月16日 | |
| 特開 2023-11234 | 水素供給装置およびこれを備えたイオンビーム照射装置 | 2023年 1月24日 |
11 件中 1-11 件を表示
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2023-172015 2023-154377 2023-132162 2023-127907 2023-67381 2023-57607 2023-50522 2023-42906 2023-37992 2023-22864 2023-11234
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