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キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション

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  2019年 特許取得件数ランキング    第824位 25件 上昇2018年:第1592位 11件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6625997 タングステンCMP用の組成物 2019年12月25日
特許 6616394 タングステンのバフ研磨用組成物 2019年12月 4日
特許 6612789 タングステンの化学機械研磨組成物 2019年11月27日
特許 6612790 銅バリアの化学機械研磨組成物 2019年11月27日
特許 6603234 タングステン材料のCMP用組成物及び方法 2019年11月 6日
特許 6603309 ゲルマニウムの化学機械研磨 2019年11月 6日
特許 6595473 多孔質界面および中実コアを備えた研磨パッドならびにその装置および方法 2019年10月23日
特許 6595510 高い除去速度と低欠陥性を有する、ポリシリコン及び窒化物を上回り酸化物に対して選択的なCMP組成物 2019年10月23日
特許 6574244 CMP用の多層研磨パッド 2019年 9月11日
特許 6568198 CMP後の洗浄組成物及びそれに関連する方法 2019年 8月28日
特許 6560246 タングステンCMPのための組成物 2019年 8月14日
特許 6557251 混合研磨剤タングステンCMP組成物 2019年 8月 7日
特許 6553599 基材の選択的な研磨用の湿式法セリア組成物および関連する方法 2019年 7月31日
特許 6542760 高分子フィルムの化学的−機械的平坦化 2019年 7月10日
特許 6542761 混合研磨材の研磨組成物 2019年 7月10日

25 件中 1-15 件を表示

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6625997 6616394 6612789 6612790 6603234 6603309 6595473 6595510 6574244 6568198 6560246 6557251 6553599 6542760 6542761

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