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株式会社荏原製作所

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　■　2015年出願公開件数ランキング　　　第200位　230件（2014年：第223位　204件）

　■　2015年特許取得件数ランキング　　　第329位　83件（2014年：第333位　116件）

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株式会社荏原製作所の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2015-200017	めっき装置、および基板ホルダの電気接点の電気抵抗を決定する方法	2015年11月12日
特開 2015-199181	基板処理装置	2015年11月12日
特開 2015-199171	ドレッシング装置、及び半導体製造装置	2015年11月12日
特開 2015-199163	ハウジングおよびこれを備えた砥液供給ユニット並びに基板処理装置	2015年11月12日
特開 2015-198113	基板保持機構、基板搬送装置、半導体製造装置	2015年11月 9日
特開 2015-196211	研磨装置及び研磨方法	2015年11月 9日
特開 2015-196206	基板研磨装置	2015年11月 9日
特開 2015-196124	ロールスポンジホルダー、ロールスポンジの製造方法、基板洗浄装置及び基板処理装置	2015年11月 9日
特開 2015-193076	化学機械研磨装置	2015年11月 5日
特開 2015-193070	弾性膜、基板保持装置、および研磨装置	2015年11月 5日
特開 2015-193068	研磨装置及び研磨方法	2015年11月 5日
特開 2015-193065	研磨装置および研磨方法	2015年11月 5日
特開 2015-193053	研磨装置、基板研磨方法	2015年11月 5日
特開 2015-194154	膨張型消音器	2015年11月 5日
特開 2015-193055	研磨装置の構成部品用のカバー、研磨装置の構成部品、および、研磨装置	2015年11月 5日

233 件中 46-60 件を表示

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2015-200017 2015-199181 2015-199171 2015-199163 2015-198113 2015-196211 2015-196206 2015-196124 2015-193076 2015-193070 2015-193068 2015-193065 2015-193053 2015-194154 2015-193055

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