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株式会社荏原製作所

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  2015年 出願公開件数ランキング    第206位 233件 上昇2014年:第223位 204件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第329位 83件 上昇2014年:第333位 116件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-209303 昇降装置、及び、ユニット搬送方法 2015年11月24日
特開 2015-211043 基板処理方法 2015年11月24日
特開 2015-211133 CMP分析装置、CMP分析方法、及びプログラム 2015年11月24日
特開 2015-205355 冷却装置、及び、基板処理装置 2015年11月19日
特開 2015-205359 基板処理装置 2015年11月19日
特開 2015-207602 排水機構、及びこれを備えた基板処理装置 2015年11月19日
特開 2015-204405 反転機、基板処理装置、及び、反転機の傾き調整方法 2015年11月16日
特開 2015-204427 基板乾燥装置、制御プログラム、及び基板乾燥方法 2015年11月16日
特開 2015-199163 ハウジングおよびこれを備えた砥液供給ユニット並びに基板処理装置 2015年11月12日
特開 2015-199171 ドレッシング装置、及び半導体製造装置 2015年11月12日
特開 2015-199181 基板処理装置 2015年11月12日
特開 2015-200017 めっき装置、および基板ホルダの電気接点の電気抵抗を決定する方法 2015年11月12日
特開 2015-200029 めっき方法およびめっき装置 2015年11月12日
特開 2015-200241 横軸ポンプの内部点検装置および内部点検方法 2015年11月12日
特開 2015-200395 ロータリージョイント、及び、研磨装置 2015年11月12日

236 件中 31-45 件を表示

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2015-209303 2015-211043 2015-211133 2015-205355 2015-205359 2015-207602 2015-204405 2015-204427 2015-199163 2015-199171 2015-199181 2015-200017 2015-200029 2015-200241 2015-200395

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