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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第200位 230件
(
2014年:第223位 204件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第329位 83件
(
2014年:第333位 116件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2015-208844 | 基板研磨装置 | 2015年11月24日 | |
| 特開 2015-209303 | 昇降装置、及び、ユニット搬送方法 | 2015年11月24日 | |
| 特開 2015-211133 | CMP分析装置、CMP分析方法、及びプログラム | 2015年11月24日 | |
| 特開 2015-207602 | 排水機構、及びこれを備えた基板処理装置 | 2015年11月19日 | |
| 特開 2015-205359 | 基板処理装置 | 2015年11月19日 | |
| 特開 2015-205355 | 冷却装置、及び、基板処理装置 | 2015年11月19日 | |
| 特開 2015-204427 | 基板乾燥装置、制御プログラム、及び基板乾燥方法 | 2015年11月16日 | |
| 特開 2015-204405 | 反転機、基板処理装置、及び、反転機の傾き調整方法 | 2015年11月16日 | |
| 特開 2015-200241 | 横軸ポンプの内部点検装置および内部点検方法 | 2015年11月12日 | |
| 特開 2015-199163 | ハウジングおよびこれを備えた砥液供給ユニット並びに基板処理装置 | 2015年11月12日 | |
| 特開 2015-199171 | ドレッシング装置、及び半導体製造装置 | 2015年11月12日 | |
| 特開 2015-199181 | 基板処理装置 | 2015年11月12日 | |
| 特開 2015-200017 | めっき装置、および基板ホルダの電気接点の電気抵抗を決定する方法 | 2015年11月12日 | |
| 特開 2015-200029 | めっき方法およびめっき装置 | 2015年11月12日 | |
| 特開 2015-200395 | ロータリージョイント、及び、研磨装置 | 2015年11月12日 |
233 件中 31-45 件を表示
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2015-208844 2015-209303 2015-211133 2015-207602 2015-205359 2015-205355 2015-204427 2015-204405 2015-200241 2015-199163 2015-199171 2015-199181 2015-200017 2015-200029 2015-200395
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