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株式会社荏原製作所

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  2015年 出願公開件数ランキング    第206位 233件 上昇2014年:第223位 204件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第329位 83件 上昇2014年:第333位 116件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-172536 膜厚測定値の補正方法、及び、膜厚補正器 2015年10月 1日
特開 2015-173540 電動機の駆動装置 2015年10月 1日
特開 2015-168015 研磨装置および研磨方法 2015年 9月28日
特開 2015-168035 基板処理システムおよび基板処理方法 2015年 9月28日
特開 2015-169189 吐出ケーシング及びこれを備えた立型水中ポンプ 2015年 9月28日
特開 2015-171172 キャンドモータ 2015年 9月28日
特開 2015-171173 誘導電動機 2015年 9月28日
特開 2015-165040 基板ホルダ、めっき装置及びめっき方法 2015年 9月17日
特開 2015-160303 研磨装置 2015年 9月 7日
特開 2015-161028 アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 2015年 9月 7日
特開 2015-161191 据付用部材および設備 2015年 9月 7日
特開 2015-158139 回転機器 2015年 9月 3日
特開 2015-155128 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 2015年 8月27日
特開 2015-156503 研磨監視方法、研磨監視装置、および研磨装置 2015年 8月27日
特開 2015-150648 基板保持装置および研磨装置 2015年 8月24日

236 件中 91-105 件を表示

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2015-172536 2015-173540 2015-168015 2015-168035 2015-169189 2015-171172 2015-171173 2015-165040 2015-160303 2015-161028 2015-161191 2015-158139 2015-155128 2015-156503 2015-150648

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