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株式会社荏原製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第233位 176件 下降2015年:第206位 233件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5896625 研磨装置に使用される研磨パッドの研磨面を監視する方法および装置 2016年 3月30日
特許 5896751 管内クーラー 2016年 3月30日
特許 5897841 異物付着防止機能を備えた電子線検査装置及び方法 2016年 3月30日
特許 5894254 めっき方法及びめっき装置 2016年 3月23日
特許 5888991 管内クーラー 2016年 3月22日
特許 5889760 基板の研磨異常検出方法および研磨装置 2016年 3月22日
特許 5890215 ポンプ駆動用の電力変換装置 2016年 3月22日
特許 5890652 試料観察装置及び試料観察方法 2016年 3月22日
特許 5891127 研磨装置および研磨方法 2016年 3月22日
特許 5886224 基板洗浄方法 2016年 3月16日
特許 5886602 研磨装置および研磨方法 2016年 3月16日
特許 5887227 ドレッサーディスク洗浄用ブラシ、洗浄装置及び洗浄方法 2016年 3月16日
特許 5878441 基板洗浄装置及び基板処理装置 2016年 3月 8日
特許 5878607 研磨装置 2016年 3月 8日
特許 5878613 研磨方法 2016年 3月 8日

129 件中 106-120 件を表示

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5896625 5896751 5897841 5894254 5888991 5889760 5890215 5890652 5891127 5886224 5886602 5887227 5878441 5878607 5878613

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