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株式会社荏原製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第233位 176件 下降2015年:第206位 233件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5875950 基板保持装置および研磨装置 2016年 3月 2日
特許 5876767 めっき装置及びめっき液管理方法 2016年 3月 2日
特許 5865979 めっき装置及びめっき方法 2016年 2月17日
特許 5866227 基板洗浄方法 2016年 2月17日
特許 5863614 研磨装置 2016年 2月16日
特許 5856546 研磨装置および研磨方法 2016年 2月 9日
特許 5848184 海水淡水化システムおよびエネルギー交換チャンバー 2016年 1月27日
特許 5844163 研磨装置 2016年 1月13日
特許 5840894 基板処理装置及び基板処理方法 2016年 1月 6日

129 件中 121-129 件を表示

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5875950 5876767 5865979 5866227 5863614 5856546 5848184 5844163 5840894

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