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株式会社荏原製作所

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  2018年 出願公開件数ランキング    第114位 380件 上昇2017年:第123位 417件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-189038 ポンプおよびポンプにおける主軸に対するスリーブの空転を防止する方法 2018年11月29日
特開 2018-189118 軸封装置カバー 2018年11月29日
特開 2018-190816 基板処理装置、及びその制御方法 2018年11月29日
特開 2018-190898 洗浄装置および基板処理装置、洗浄装置のメンテナンス方法、並びにプログラム 2018年11月29日
特開 2018-190899 基板処理装置 2018年11月29日
特開 2018-183820 基板の研磨装置 2018年11月22日
特開 2018-183840 渦電流センサのキャリブレーション方法 2018年11月22日
特開 2018-184882 プロテクタおよびポンプ装置 2018年11月22日
特開 2018-184884 渦発生防止装置およびポンプ設備 2018年11月22日
特開 2018-184984 芯出し治具及び芯出し方法 2018年11月22日
特開 2018-185005 ライナーリングおよび遠心ポンプ 2018年11月22日
特開 2018-186148 基板処理装置の運転方法 2018年11月22日
特開 2018-186203 基板処理方法 2018年11月22日
特開 2018-176317 研磨装置および方法 2018年11月15日
特開 2018-176339 研磨装置、及び、研磨方法 2018年11月15日

381 件中 31-45 件を表示

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2018-189038 2018-189118 2018-190816 2018-190898 2018-190899 2018-183820 2018-183840 2018-184882 2018-184884 2018-184984 2018-185005 2018-186148 2018-186203 2018-176317 2018-176339

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