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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

(ランキング更新日:2022年1月11日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6581915 洗浄部材の初期化方法 2019年 9月25日
特許 6577385 基板保持モジュール、基板処理装置、および基板処理方法 2019年 9月18日
特許 6578040 基板処理装置 2019年 9月18日
特許 6578221 診断補助装置、診断補助システム、診断補助方法および診断補助プログラム 2019年 9月18日
特許 6578317 基板処理装置、及びその制御方法 2019年 9月18日
特許 6573835 検査装置及び高圧基準管の製造方法 2019年 9月11日
特許 6570711 膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 2019年 9月 4日
特許 6571811 自吸式ポンプの運転装置、液体供給装置、及び自吸式ポンプの運転方法 2019年 9月 4日
特許 6566640 基板研磨装置 2019年 8月28日
特許 6567838 液体ポンプのメインテナンス・スケジューラ 2019年 8月28日
特許 6567897 ポンプ 2019年 8月28日
特許 6568006 研磨装置および研磨方法 2019年 8月28日
特許 6568975 テープカートリッジ、スクラバー、および基板処理装置 2019年 8月28日
特許 6562779 研磨装置及び研磨方法 2019年 8月21日
特許 6563319 ポンプ装置 2019年 8月21日

169 件中 61-75 件を表示

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6581915 6577385 6578040 6578221 6578317 6573835 6570711 6571811 6566640 6567838 6567897 6568006 6568975 6562779 6563319

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