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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6527781 ポンプシステムの吊り上げ方法、ポンプシステム 2019年 6月 5日
特許 6527805 すべり軸受装置 2019年 6月 5日
特許 6522892 真空排気システム 2019年 5月29日
特許 6517845 スケジューラ、基板処理装置、及び基板搬送方法 2019年 5月22日
特許 6512792 磁気浮上型ポンプ 2019年 5月15日
特許 6512924 カップリングガード 2019年 5月15日
特許 6513990 モータ 2019年 5月15日
特許 6508935 基板ホルダ、めっき装置及びめっき方法 2019年 5月 8日
特許 6510348 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 2019年 5月 8日
特許 6510890 給水装置、監視装置、及び、給水システム 2019年 5月 8日
特許 6510983 非接触環状シール及びこれを備える回転機械 2019年 5月 8日
特許 6505474 ハンドシャワーガンおよびウォーターハンマー低減機構 2019年 4月24日
特許 6501186 ストロンチウム吸着シート 2019年 4月17日
特許 6502430 基板処理装置 2019年 4月17日
特許 6502972 流体供給装置 2019年 4月17日

169 件中 106-120 件を表示

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6527781 6527805 6522892 6517845 6512792 6512924 6513990 6508935 6510348 6510890 6510983 6505474 6501186 6502430 6502972

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