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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6588854 基板処理装置 2019年10月 9日
特許 6589015 洗浄具、洗浄具の製造方法、および、基板洗浄装置 2019年10月 9日
特許 6584328 検査装置、そのアライメント装置及びアライメント方法 2019年10月 2日
特許 6584946 検査装置 2019年10月 2日
特許 6585434 めっき方法 2019年10月 2日
特許 6585445 研磨方法 2019年10月 2日
特許 6585768 ポンプ、及びケーシングライナ 2019年10月 2日
特許 6580048 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 2019年 9月25日
特許 6580085 シチナカイト構造を有するシリコチタネートを用いるセシウム又はストロンチウムの少なくともいずれかの吸着方法 2019年 9月25日
特許 6580178 研磨装置の構成部品用のカバー、研磨装置の構成部品、および、研磨装置 2019年 9月25日
特許 6580311 真空ポンプおよびその運転方法 2019年 9月25日
特許 6580939 研磨装置 2019年 9月25日
特許 6581540 固定構造、基板搬送装置、基板処理装置、及び固定構造の高さ調整方法 2019年 9月25日
特許 6581626 給水装置 2019年 9月25日
特許 6581783 電子線検査装置 2019年 9月25日

169 件中 46-60 件を表示

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6588854 6589015 6584328 6584946 6585434 6585445 6585768 6580048 6580085 6580178 6580311 6580939 6581540 6581626 6581783

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