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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6538550 潤滑油の漏洩を防止する軸封装置を有する流体継手 2019年 7月 3日
特許 6539199 基板搬送用移載機及び基板移載方法 2019年 7月 3日
特許 6534535 給水システム 2019年 6月26日
特許 6534546 ポンプ運転台数制御方法およびポンプ装置 2019年 6月26日
特許 6534916 リーマボルトおよびリーマボルトの取り外し方法 2019年 6月26日
特許 6535187 基板搬送用ハンド 2019年 6月26日
特許 6535269 ポンプ制御装置およびポンプ制御方法ならびに排水システム 2019年 6月26日
特許 6535649 基板処理装置、排出方法およびプログラム 2019年 6月26日
特許 6532884 ワークピースを研磨するための化学機械研磨装置 2019年 6月19日
特許 6529844 気液分離器及び研磨装置 2019年 6月12日
特許 6530693 電磁石制御装置および電磁石システム 2019年 6月12日
特許 6523991 基板処理装置および基板処理方法 2019年 6月 5日
特許 6525597 真空式排液収集システムおよび排液収集方法 2019年 6月 5日
特許 6526868 基板ホルダ、基板ホルダで基板を保持する方法、及びめっき装置 2019年 6月 5日
特許 6526973 電動機 2019年 6月 5日

169 件中 91-105 件を表示

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6538550 6539199 6534535 6534546 6534916 6535187 6535269 6535649 6532884 6529844 6530693 6523991 6525597 6526868 6526973

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