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株式会社荏原製作所

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　■　2020年出願公開件数ランキング　　　第163位　266件（2019年：第145位　326件）

　■　2020年特許取得件数ランキング　　　第151位　191件（2019年：第168位　167件）

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株式会社荏原製作所の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2020-131387	基板研磨システム及び方法並びに基板研磨装置	2020年 8月31日
特開 2020-131414	研磨されるウェーハの上面から液体を除去する方法、およびウェーハを研磨パッドに押し付けるための弾性膜	2020年 8月31日
特開 2020-131960	ドローンシステム	2020年 8月31日
特開 2020-132925	基板ホルダ及びめっき装置	2020年 8月31日
特開 2020-132946	基板ホルダおよび当該基板ホルダを備えるめっき装置	2020年 8月31日
特開 2020-133579	羽根車、流体機械、羽根車の騒音防止方法	2020年 8月31日
特開 2020-136122	電子線照射装置および電子ビームの位置合わせ方法	2020年 8月31日
特開 2020-136488	洗浄部材用洗浄装置及び基板処理装置	2020年 8月31日
特開 2020-137178	回転電気機械	2020年 8月31日
特開 2020-129584	基板洗浄方法および基板洗浄装置	2020年 8月27日
特開 2020-124754	基板処理装置、および基板処理方法	2020年 8月20日
特開 2020-125713	ベースプレートおよび給水装置	2020年 8月20日
特開 2020-125732	羽根車の製造方法及び羽根車	2020年 8月20日
特開 2020-125733	羽根車の製造方法及び羽根車	2020年 8月20日
特開 2020-125734	羽根車の設計方法、羽根車の製造方法、羽根車の設計システム及び羽根車の製造システム	2020年 8月20日

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2020-131387 2020-131414 2020-131960 2020-132925 2020-132946 2020-133579 2020-136122 2020-136488 2020-137178 2020-129584 2020-124754 2020-125713 2020-125732 2020-125733 2020-125734

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