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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

(ランキング更新日:2025年6月5日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-62455 研磨装置 2021年 4月22日
特開 2021-63306 めっき装置及びめっき方法 2021年 4月22日
特開 2021-63461 ポンプ設備、ポンプ設備用診断装置、監視制御装置、監視制御方法、監視制御プログラム、ポンプ設備用診断方法、ポンプ設備用診断プログラム 2021年 4月22日
特開 2021-63472 真空ポンプ装置 2021年 4月22日
特開 2021-63473 モータポンプ 2021年 4月22日
特開 2021-63503 真空ポンプ装置 2021年 4月22日
特開 2021-64701 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2021年 4月22日
特開 2021-65002 キャンドモータ 2021年 4月22日
特開 2021-58940 基板研磨装置および膜厚マップ作成方法 2021年 4月15日
特開 2021-58955 研磨装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム 2021年 4月15日
特開 2021-59746 基板ホルダ及び基板処理装置 2021年 4月15日
特開 2021-60016 キャンドモータポンプ 2021年 4月15日
特開 2021-60122 すべり軸受、すべり軸受装置、及びポンプ 2021年 4月15日
特開 2021-61389 ノズル及び基板洗浄装置 2021年 4月15日
特開 2021-54624 搬送治具 2021年 4月 8日

287 件中 196-210 件を表示

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2021-62455 2021-63306 2021-63461 2021-63472 2021-63473 2021-63503 2021-64701 2021-65002 2021-58940 2021-58955 2021-59746 2021-60016 2021-60122 2021-61389 2021-54624

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