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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-97120 レジスト除去システムおよびレジスト除去方法 2021年 6月24日
特開 2021-97466 冷却ファン、電動機組立体 2021年 6月24日
特開 2021-91019 パッドの表面温度を調整するためのシステムおよび研磨装置 2021年 6月17日
特開 2021-91030 基板処理装置および基板処理方法 2021年 6月17日
特開 2021-91038 研磨方法および研磨装置 2021年 6月17日
特開 2021-91039 処理ユニットおよび基板処理装置 2021年 6月17日
特開 2021-91090 研磨装置、及び研磨方法 2021年 6月17日
特開 2021-91935 めっき装置およびめっき方法 2021年 6月17日
特開 2021-92180 ボルテックス形ポンプ用羽根車及びボルテックス形ポンプ 2021年 6月17日
特開 2021-92182 ポンプ装置及びポンプシステム 2021年 6月17日
特開 2021-92192 立形多段ポンプ 2021年 6月17日
特開 2021-92225 給水装置、及び、給水装置の制御方法 2021年 6月17日
特開 2021-93821 給水装置、制御装置及びインバータ 2021年 6月17日
特開 2021-87931 ストロンチウム含有廃液の処理方法 2021年 6月10日
特開 2021-88005 研磨装置および研磨方法 2021年 6月10日

287 件中 151-165 件を表示

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2021-97120 2021-97466 2021-91019 2021-91030 2021-91038 2021-91039 2021-91090 2021-91935 2021-92180 2021-92182 2021-92192 2021-92225 2021-93821 2021-87931 2021-88005

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