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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6883475 研磨テーブル及びこれを備える研磨装置 2021年 6月 9日
特許 6884015 基板の研磨装置および研磨方法 2021年 6月 9日
特許 6882017 研磨方法、研磨装置、および基板処理システム 2021年 6月 2日
特許 6882390 真空ポンプおよびその運転方法 2021年 6月 2日
特許 6882917 ポンプ装置用の始動装置 2021年 6月 2日
特許 6882939 立軸ポンプ観察装置及び立軸ポンプ観察方法 2021年 6月 2日
特許 6875841 悪臭防止型排水設備 2021年 5月26日
特許 6875897 自吸運転検出システムおよびポンプ装置 2021年 5月26日
特許 6877221 基板洗浄装置、基板洗浄方法および基板洗浄装置の制御方法 2021年 5月26日
特許 6877480 搬送装置、ワーク処理装置、搬送装置の制御方法、プログラムを記憶する記録媒体 2021年 5月26日
特許 6878056 めっき方法 2021年 5月26日
特許 6872913 めっき装置、基板ホルダ、抵抗測定モジュール、および基板ホルダを検査する方法 2021年 5月19日
特許 6873031 渦巻きポンプ用ケーシング及び渦巻きポンプ 2021年 5月19日
特許 6873756 水中ポンプ 2021年 5月19日
特許 6873782 研磨装置、研磨方法、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2021年 5月19日

242 件中 151-165 件を表示

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6883475 6884015 6882017 6882390 6882917 6882939 6875841 6875897 6877221 6877480 6878056 6872913 6873031 6873756 6873782

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