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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6875048 真空ポンプ、真空ポンプの冷却装置、真空ポンプの冷却方法、真空排気システム、及び、真空ポンプのメンテナンス方法 2021年 5月19日
特許 6875154 セルフクリーニング装置、基板処理装置、および洗浄具のセルフクリーニング方法 2021年 5月19日
特許 6875165 排水システム及びサーバ装置 2021年 5月19日
特許 6867760 給水装置 2021年 5月12日
特許 6869110 消音ユニットおよびこの消音ユニットを用いた消音構造体 2021年 5月12日
特許 6869112 ポンプ点検システム 2021年 5月12日
特許 6869842 基板処理装置、および基板に形成された切り欠きを検出する方法 2021年 5月12日
特許 6871749 電動機組立体 2021年 5月12日
特許 6871750 電動機組立体 2021年 5月12日
特許 6865599 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム 2021年 4月28日
特許 6865613 基板搬送装置、基板搬送装置の制御装置、基板搬送装置における変位補償方法、当該方法を実施するプログラムおよび当該プログラムが記録された記録媒体 2021年 4月28日
特許 6865648 制御装置、制御方法、プログラム及び異常検知システム 2021年 4月28日
特許 6861116 膜厚測定装置、研磨装置、および研磨方法 2021年 4月21日
特許 6861610 めっき解析方法、めっき解析システム、及びめっき解析のためのコンピュータプログラム 2021年 4月21日
特許 6861623 羽根車及びこれを備えたポンプ 2021年 4月21日

242 件中 166-180 件を表示

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6875048 6875154 6875165 6867760 6869110 6869112 6869842 6871749 6871750 6865599 6865613 6865648 6861116 6861610 6861623

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