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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1304位 22件 (2012年:第1466位 17件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第1098位 25件 (2012年:第1367位 19件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5240980 | 3次元測定装置及び検査装置 | 2013年 7月17日 | |
特許 5201649 | 検査装置及び検査方法並びにパターン基板の製造方法 | 2013年 6月 5日 | |
特許 5177736 | マスク検査装置 | 2013年 4月10日 | |
特許 5164178 | 基板検査装置、異物除去装置および異物除去方法 | 2013年 3月13日 | 共同出願 |
特許 5158552 | 顕微鏡及び検査装置 | 2013年 3月 6日 | |
特許 5152818 | 異物検査方法及びその異物検査方法を用いた異物検査装置 | 2013年 2月27日 | |
特許 5146947 | 輸出管理システム、輸出管理方法及び輸出管理プログラム | 2013年 2月20日 | |
特許 5126917 | 欠陥座標測定装置、欠陥座標測定方法、マスクの製造方法、及び基準マスク | 2013年 1月23日 | |
特許 5126866 | 直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、ビーム照射装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法 | 2013年 1月23日 | |
特許 5114808 | 検査装置及び欠陥検査方法 | 2013年 1月 9日 |
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5240980 5201649 5177736 5164178 5158552 5152818 5146947 5126917 5126866 5114808
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2月4日(火) - 東京 港区
2月4日(火) - 神奈川 川崎市
2月4日(火) -
2月4日(火) -
2月5日(水) - 東京 港区
2月5日(水) -
2月5日(水) -
2月5日(水) -
2月6日(木) - 東京 港区
2月6日(木) -
2月7日(金) -
2月7日(金) - 東京 港区
2月7日(金) - 神奈川 横浜市
2月7日(金) -
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