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キヤノンアネルバ株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第724位 46件 下降2012年:第347位 119件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第654位 50件 上昇2012年:第926位 32件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5295994 基板処理装置及び基板処理装置におけるアーキング発生監視方法 2013年 9月18日
特許 5289035 スパッタリング装置 2013年 9月11日
特許 5280459 スパッタリング装置 2013年 9月 4日
特許 5280522 識別情報設定装置、および識別情報設定方法 2013年 9月 4日
特許 5276121 真空処理装置及び光学部品の製造方法 2013年 8月28日
特許 5270751 プラズマ処理装置および磁気記録媒体の製造方法 2013年 8月21日
特許 5260225 磁気抵抗効果素子の製造方法 2013年 8月14日
特許 5259626 スパッタ装置、スパッタ成膜方法 2013年 8月 7日
特許 5253513 多層膜スパッタリング装置及び多層膜形成方法 2013年 7月31日
特許 5249351 ラック・アンド・ピニオン機構、真空処理装置、ラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法、駆動制御プログラム及び記録媒体 2013年 7月31日
特許 5249328 薄膜の成膜方法 2013年 7月31日
特許 5253517 真空処理装置のデータ収集システム 2013年 7月31日
特許 5247619 誘電体膜、誘電体膜を用いた半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 2013年 7月24日
特許 5247847 成膜装置及び成膜装置用ストックチャンバー 2013年 7月24日
特許 5238823 半導体記憶素子の製造方法、及びスパッタ装置 2013年 7月17日

50 件中 16-30 件を表示

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5295994 5289035 5280459 5280522 5276121 5270751 5260225 5259626 5253513 5249351 5249328 5253517 5247619 5247847 5238823

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