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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-258924 | 基板位置決め装置、基板処理装置、基板位置決め方法及びプログラムを記録した記憶媒体 | 2011年12月22日 | |
特開 2011-258218 | 脈動軽減装置及び検査装置 | 2011年12月22日 | |
特開 2011-257436 | 石英部材 | 2011年12月22日 | |
特開 2011-258925 | 基板処理装置、基板処理方法及びプログラムを記録した記憶媒体 | 2011年12月22日 | |
特開 2011-258622 | プラズマ処理装置及びその誘電体窓構造 | 2011年12月22日 | |
再表 2010-1938 | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法および誘電体窓の温度調節機構 | 2011年12月22日 | |
特開 2011-253897 | 基板処理システム及び基板処理方法 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-254107 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-254019 | 基板液処理装置 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-253899 | 疎水化処理方法及び疎水化処理装置 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-253842 | 蓋体保持治具 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-254016 | 基板液処理装置 | 2011年12月15日 | |
特表 2011-530169 | 化学処理及び熱処理用高スループット処理システム及びその動作方法 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-254063 | 薄膜の形成方法及び成膜装置 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-254057 | 熱処理装置及び熱処理方法 | 2011年12月15日 |
621 件中 1-15 件を表示
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2011-258924 2011-258218 2011-257436 2011-258925 2011-258622 2010-1938 2011-253897 2011-254107 2011-254019 2011-253899 2011-253842 2011-254016 2011-530169 2011-254063 2011-254057
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