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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-204598 太陽電池 2012年10月22日
特開 2012-204742 基板処理装置の処理室内構成部材及びその温度測定方法 2012年10月22日
特開 2012-204681 成膜方法、成膜装置および記憶媒体 2012年10月22日 共同出願
特開 2012-201437 基板搬送装置及び基板搬送方法 2012年10月22日
特開 2012-204645 蓋体開閉装置 2012年10月22日
特開 2012-204500 浮上式塗布装置 2012年10月22日
特開 2012-204791 気化装置、ガス供給装置及びこれを用いた成膜装置 2012年10月22日
特開 2012-204650 粒子捕捉ユニット、該粒子捕捉ユニットの製造方法及び基板処理装置 2012年10月22日
特開 2012-204367 基板処理方法及び記憶媒体 2012年10月22日
特開 2012-204668 プラズマエッチング方法および記憶媒体 2012年10月22日
特開 2012-204806 判定方法、制御方法、判定装置、パターン形成システム及びプログラム 2012年10月22日
特開 2012-200679 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2012年10月22日
特開 2012-202692 温度測定装置及び温度測定方法 2012年10月22日
特開 2012-204521 液処理装置及び液処理方法 2012年10月22日
特開 2012-204669 処理方法および記憶媒体 2012年10月22日

714 件中 136-150 件を表示

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2012-204598 2012-204742 2012-204681 2012-201437 2012-204645 2012-204500 2012-204791 2012-204650 2012-204367 2012-204668 2012-204806 2012-200679 2012-202692 2012-204521 2012-204669

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