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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2011-124342 | 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-121775 | 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-124384 | 成膜装置 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-124343 | 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2011年 6月23日 | |
再表 2009-104589 | プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-124362 | プラズマ処理装置 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-124353 | 基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-124352 | 現像処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-124313 | 基板処理システム、基板処理装置、基板処理方法及び基板処理プログラムを記録した記録媒体 | 2011年 6月23日 | |
特表 2011-518408 | 単色中性ビームで活性化される化学プロセスシステム及び当該システムの使用方法 | 2011年 6月23日 | |
再表 2009-104620 | 成膜方法および記憶媒体 | 2011年 6月23日 | 共同出願 |
特開 2011-124377 | 静電チャック装置 | 2011年 6月23日 | 共同出願 |
特開 2011-124240 | MOS型半導体メモリ装置、その製造方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2011年 6月23日 | 共同出願 |
再表 2009-104621 | Sr−Ti−O系膜の成膜方法および記憶媒体 | 2011年 6月23日 | 共同出願 |
特開 2011-117054 | プラズマ処理装置用のアルミナ部材及びプラズマ処理装置用のアルミナ部材の製造方法 | 2011年 6月16日 | 共同出願 |
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2011-124342 2011-121775 2011-124384 2011-124343 2009-104589 2011-124362 2011-124353 2011-124352 2011-124313 2011-518408 2009-104620 2011-124377 2011-124240 2009-104621 2011-117054
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