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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-124342 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2011年 6月23日
特開 2011-121775 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2011年 6月23日
特開 2011-124384 成膜装置 2011年 6月23日
特開 2011-124343 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2011年 6月23日
再表 2009-104589 プローブ支持板の製造方法、コンピュータ記憶媒体及びプローブ支持板 2011年 6月23日
特開 2011-124362 プラズマ処理装置 2011年 6月23日
特開 2011-124353 基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム 2011年 6月23日
特開 2011-124352 現像処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2011年 6月23日
特開 2011-124313 基板処理システム、基板処理装置、基板処理方法及び基板処理プログラムを記録した記録媒体 2011年 6月23日
特表 2011-518408 単色中性ビームで活性化される化学プロセスシステム及び当該システムの使用方法 2011年 6月23日
再表 2009-104620 成膜方法および記憶媒体 2011年 6月23日 共同出願
特開 2011-124377 静電チャック装置 2011年 6月23日 共同出願
特開 2011-124240 MOS型半導体メモリ装置、その製造方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2011年 6月23日 共同出願
再表 2009-104621 Sr−Ti−O系膜の成膜方法および記憶媒体 2011年 6月23日 共同出願
特開 2011-117054 プラズマ処理装置用のアルミナ部材及びプラズマ処理装置用のアルミナ部材の製造方法 2011年 6月16日 共同出願

621 件中 286-300 件を表示

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2011-124342 2011-121775 2011-124384 2011-124343 2009-104589 2011-124362 2011-124353 2011-124352 2011-124313 2011-518408 2009-104620 2011-124377 2011-124240 2009-104621 2011-117054

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