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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第60位 712件
(2012年:第53位 714件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第45位 796件
(2012年:第37位 902件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-149844 | パーティクル低減方法 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149790 | プラズマ処理装置 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149728 | 成膜装置 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149377 | プラズマ処理装置 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-147708 | TiSiN膜の成膜方法および記憶媒体 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-147704 | マグネトロンスパッタ装置及び成膜方法 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-148417 | 半導体デバイスの検査装置 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149935 | 離脱制御方法及びプラズマ処理装置 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149915 | エッチング方法及びエッチング装置 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149865 | プラズマ処理装置 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149722 | 基板処理装置 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149658 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149657 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-149656 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-150119 | デジタル/アナログコンバータ | 2013年 8月 1日 |
712 件中 286-300 件を表示
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2013-149844 2013-149790 2013-149728 2013-149377 2013-147708 2013-147704 2013-148417 2013-149935 2013-149915 2013-149865 2013-149722 2013-149658 2013-149657 2013-149656 2013-150119
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