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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-119468 被処理体の搬送方法および被処理体処理装置 2011年 6月16日
特開 2011-119327 基板搬送装置および基板処理システム 2011年 6月16日
特開 2011-119408 基板処理装置 2011年 6月16日
特表 2011-517806 自律的に適応する半導体製造 2011年 6月16日
特表 2011-517807 生物学に基づく自律学習ツール 2011年 6月16日
特開 2011-119659 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2011年 6月16日
特開 2011-119658 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2011年 6月16日
特開 2011-119657 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2011年 6月16日
特開 2011-119650 基板処理装置 2011年 6月16日
特開 2011-119610 枚葉式の基板液処理装置における循環ラインの液交換方法 2011年 6月16日
特開 2011-119499 基板処理装置及びその電極間距離の測定方法並びにプログラムを記憶する記憶媒体 2011年 6月16日
特開 2011-119461 プラズマ処理装置 2011年 6月16日
特開 2011-119359 半導体装置の製造方法 2011年 6月16日
特開 2011-119326 基板載置台、その製造方法及び基板処理装置 2011年 6月16日
特開 2011-119268 プラズマ処理方法 2011年 6月16日

621 件中 301-315 件を表示

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2011-119468 2011-119327 2011-119408 2011-517806 2011-517807 2011-119659 2011-119658 2011-119657 2011-119650 2011-119610 2011-119499 2011-119461 2011-119359 2011-119326 2011-119268

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