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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件
(2013年:第60位 712件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件
(2013年:第45位 796件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-120489 | 基板液処理装置及び基板液処理方法 | 2014年 6月30日 | |
特開 2014-120522 | 搬送基台及び搬送システム | 2014年 6月30日 | 共同出願 |
特開 2014-116576 | 成膜装置、低誘電率膜を形成する方法、SiCO膜、及びダマシン配線構造 | 2014年 6月26日 | 共同出願 |
特開 2014-116578 | 誘導結合プラズマ処理装置 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116517 | 金属化合物膜の成膜方法、成膜装置、電子製品の製造方法および電子製品 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116484 | 基板処理装置および処理容器内圧力調整方法 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-115245 | 基板の欠陥検査方法、基板の欠陥検査装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-115140 | 基板の基準画像作成方法、基板の欠陥検査方法、基板の基準画像作成装置、基板の欠陥検査ユニット、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116567 | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116566 | 静電チャックの改質方法及びプラズマ処理装置 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116545 | 基板処理装置 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116464 | 基板処理装置、基板処理システム及び搬送容器の異常検出方法 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116426 | 基板処理装置、基板装置の運用方法及び記憶媒体 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116187 | マイクロ波放射アンテナ、マイクロ波プラズマ源およびプラズマ処理装置 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-112690 | 基板処理装置及び薬液供給方法 | 2014年 6月19日 |
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2014-120489 2014-120522 2014-116576 2014-116578 2014-116517 2014-116484 2014-115245 2014-115140 2014-116567 2014-116566 2014-116545 2014-116464 2014-116426 2014-116187 2014-112690
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5月29日(木) - 東京 港区
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5月29日(木) - 東京 新宿区
5月29日(木) -
5月29日(木) -
5月30日(金) -
5月30日(金) -
5月29日(木) - 東京 港区
6月4日(水) -
6月4日(水) -
6月4日(水) -
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