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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-120489 基板液処理装置及び基板液処理方法 2014年 6月30日
特開 2014-120522 搬送基台及び搬送システム 2014年 6月30日 共同出願
特開 2014-116576 成膜装置、低誘電率膜を形成する方法、SiCO膜、及びダマシン配線構造 2014年 6月26日 共同出願
特開 2014-116578 誘導結合プラズマ処理装置 2014年 6月26日
特開 2014-116517 金属化合物膜の成膜方法、成膜装置、電子製品の製造方法および電子製品 2014年 6月26日
特開 2014-116484 基板処理装置および処理容器内圧力調整方法 2014年 6月26日
特開 2014-115245 基板の欠陥検査方法、基板の欠陥検査装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 6月26日
特開 2014-115140 基板の基準画像作成方法、基板の欠陥検査方法、基板の基準画像作成装置、基板の欠陥検査ユニット、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 6月26日
特開 2014-116567 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2014年 6月26日
特開 2014-116566 静電チャックの改質方法及びプラズマ処理装置 2014年 6月26日
特開 2014-116545 基板処理装置 2014年 6月26日
特開 2014-116464 基板処理装置、基板処理システム及び搬送容器の異常検出方法 2014年 6月26日
特開 2014-116426 基板処理装置、基板装置の運用方法及び記憶媒体 2014年 6月26日
特開 2014-116187 マイクロ波放射アンテナ、マイクロ波プラズマ源およびプラズマ処理装置 2014年 6月26日
特開 2014-112690 基板処理装置及び薬液供給方法 2014年 6月19日

685 件中 316-330 件を表示

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2014-120489 2014-120522 2014-116576 2014-116578 2014-116517 2014-116484 2014-115245 2014-115140 2014-116567 2014-116566 2014-116545 2014-116464 2014-116426 2014-116187 2014-112690

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