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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2013-528928 低誘電率絶縁体を統合するための方法 2013年 7月11日
特開 2013-137054 流体継手 2013年 7月11日 共同出願
特開 2013-135159 プラズマ処理装置 2013年 7月 8日 共同出願
特開 2013-133192 搬送装置及び搬送方法 2013年 7月 8日
特開 2013-135154 成膜方法 2013年 7月 8日
特開 2013-134837 プラズマ生成装置及びプラズマ処理装置 2013年 7月 8日
特開 2013-133521 成膜方法 2013年 7月 8日
特開 2013-135176 シリコン酸炭窒化膜の形成方法 2013年 7月 8日
特開 2013-135124 注液装置、製造システム、注液方法および注液プログラム 2013年 7月 8日
再表 2011-125705 プラズマ窒化処理方法及びプラズマ窒化処理装置 2013年 7月 8日
再表 2011-125703 プラズマ窒化処理方法 2013年 7月 8日
再表 2011-125524 プラズマ処理装置用誘電体窓、プラズマ処理装置、およびプラズマ処理装置用誘電体窓の取り付け方法 2013年 7月 8日
特開 2013-131541 載置台及びプラズマ処理装置 2013年 7月 4日
特開 2013-131543 基板処理装置 2013年 7月 4日
特開 2013-131320 プラズマ処理装置 2013年 7月 4日

712 件中 331-345 件を表示

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2013-528928 2013-137054 2013-135159 2013-133192 2013-135154 2013-134837 2013-133521 2013-135176 2013-135124 2011-125705 2011-125703 2011-125524 2013-131541 2013-131543 2013-131320

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